请教：光刻里给定mask形状&尺寸，有什么软件能算出成像？ - Programming版

本页内容为未名空间相应帖子的节选和存档，一周内的贴子最多显示50字，超过一周显示500字访问原贴

Programming版 - 请教：光刻里给定mask形状&尺寸，有什么软件能算出成像？

(共1页)

a******n 发帖数: 100	1 请教：光刻里给定mask形状&尺寸，有什么软件能算出成像？有什么现成的（开源）软件吗？想用来做 simulation. 谢谢！
I***8 发帖数: 1	2 HFSS ★ 发自iPhone App: ChinaWeb 1.1.5 【在 a******n 的大作中提到】 : 请教：光刻里给定mask形状&尺寸，有什么软件能算出成像？ : 有什么现成的（开源）软件吗？ : 想用来做 simulation. : 谢谢！
m********5 发帖数: 17667	3 S-Litho 【在 a******n 的大作中提到】 : 请教：光刻里给定mask形状&尺寸，有什么软件能算出成像？ : 有什么现成的（开源）软件吗？ : 想用来做 simulation. : 谢谢！

(共1页)

版面

帖数(主题数)

全站

4871 (796)

3777 (569)

341 (51)

117 (17)

116 (3)