q****i
发帖数: 6923 | 1 有一个monomer，当然是小分子了，可以spin coat在salt plate 上，也可以夹在salt
plates之间成膜。但是不能spin coat在si wafer上，会dewet。所以没有办法用
ellipsometry 来测厚度。吸收紫外光，并发生化学反应polymerization成oligomer。
据我所知是可以测厚度的，曾经有人告诉过我怎么测，现在忘掉了，一点都想不起来了
。大家帮我想想把。中选了的方法有包子答谢。
能不能用这个吸收紫外的性质来测？用极弱的紫外光？
我必须测膜的厚度来计算它到底吸收了多少光，来算这个紫外光聚合的UV efficiency. |
l*****l
发帖数: 85 | 2 Not expert.
You can try profilometer and SEM . |
e*****n
发帖数: 62 | 3 如果膜是几nm到几十nm可以用AFM scratching 的方法，上百个nm或者um厚的话可以用
profilometer。 |
j********1
发帖数: 628 | |
q****i
发帖数: 6923 | 5 小分子coat的膜怎么scratch啊？液体呢
【在 e*****n 的大作中提到】
: 如果膜是几nm到几十nm可以用AFM scratching 的方法，上百个nm或者um厚的话可以用
: profilometer。
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s**********x
发帖数: 4593 | 6 能不能用focused ion beam切掉一部分，然后用SEM看cross section |
D********g
发帖数: 533 | 7 不是expert... 但是想到你可不可以用兩片glass slide形成一個楔行的角 測干涉環的
間距 要求是monomer的折射率已知
salt
efficiency.
【在 q****i 的大作中提到】
: 有一个monomer，当然是小分子了，可以spin coat在salt plate 上，也可以夹在salt
: plates之间成膜。但是不能spin coat在si wafer上，会dewet。所以没有办法用
: ellipsometry 来测厚度。吸收紫外光，并发生化学反应polymerization成oligomer。
: 据我所知是可以测厚度的，曾经有人告诉过我怎么测，现在忘掉了，一点都想不起来了
: 。大家帮我想想把。中选了的方法有包子答谢。
: 能不能用这个吸收紫外的性质来测？用极弱的紫外光？
: 我必须测膜的厚度来计算它到底吸收了多少光，来算这个紫外光聚合的UV efficiency.
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