请问静电MEMS电压边界条件公式中一个变量的物理意义 - EE版

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EE版 - 请问静电MEMS电压边界条件公式中一个变量的物理意义

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d*******2
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一篇关于静电MEMS的论文中，说电压V满足拉普拉斯方程，然后说有边界条件
V = (a_x * cos(k_x * x) + b_x * sin(k_x * x) (a_y * cosh(k_y * y) + b_y *
sinh(k_y * y) (a_z * cosh(k_z * z) + b_z * sinh(k_z * z)
但是文章中没有说 a_x, a_y, a_z 及 k_x, k_y, k_z 的物理意义，估计是一个很简单
不值得一说的东西，麻烦这里哪位大牛给说说他们的物理意义？另外，第一个cos和
sin是不是印错了，应该为cosh和sinh?
先谢了！

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