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Macromolecules版 - 用ellipsometer测定涂层的厚度
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w*****9
发帖数: 14
1
我的高分子膜用spin coating 的方法涂在金的表面上。想测试不同的spin speed对涂
层的影响。用ellipsomter测定高分子层的厚度。
我第一次用。发现要现输入一个估计值,测试后给出Ψ和Δ,然后软件分析得出的厚度
值跟输入的估计值总是很接近。我试着输入很多不同的值,每次给出的厚度都不一样,
但是Ψ和Δ值没什么变化,但是厚度与估计值类似。请问这到底是怎么回事?而且如何
用Ψ和Δ计算厚度值。
D********g
发帖数: 533
2
不知道你用的是什么ellipsometry 应该这个估计值不会影响到测量实际值。看看是不
是那个估计值是折射率?这个参数倒是很能影响结果。还有就是注意有的ellipsometry
在膜过厚时 可能需要调整pi/2的相差compensation.
anyway 如果只在对于结果不是很放心 可以找一个简单的模型把delta和psi代进去自己
Matlabt计算膜厚。简单的一层模的model不是很难,也很好编程

【在 w*****9 的大作中提到】
: 我的高分子膜用spin coating 的方法涂在金的表面上。想测试不同的spin speed对涂
: 层的影响。用ellipsomter测定高分子层的厚度。
: 我第一次用。发现要现输入一个估计值,测试后给出Ψ和Δ,然后软件分析得出的厚度
: 值跟输入的估计值总是很接近。我试着输入很多不同的值,每次给出的厚度都不一样,
: 但是Ψ和Δ值没什么变化,但是厚度与估计值类似。请问这到底是怎么回事?而且如何
: 用Ψ和Δ计算厚度值。

b*******t
发帖数: 57
3
搭便车问一下:ellipsometer测试对底物(膜材料)粗糙度有什么要求?
普通高分子薄膜如硅橡胶膜、聚氨酯膜表面接枝聚合物是否能通过此方法来测接枝厚度
y***e
发帖数: 6082
4
surface太粗糙,仪器会罢工的

搭便车问一下:ellipsometer测试对底物(膜材料)粗糙度有什么要求?
普通高分子薄膜如硅橡胶膜、聚氨酯膜表面接枝聚合物是否能通过此方法来测接枝厚度


【在 b*******t 的大作中提到】
: 搭便车问一下:ellipsometer测试对底物(膜材料)粗糙度有什么要求?
: 普通高分子薄膜如硅橡胶膜、聚氨酯膜表面接枝聚合物是否能通过此方法来测接枝厚度
: ?

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