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Military版 - 中国 “芯片梦”再遇重挫关键原材料被日本卡脖子

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中国 “芯片梦”再遇重挫关键原材料被日本卡脖子
文章来源: 自由亚洲于 2021-05-28 08:21:15 - 新闻取自各大新闻媒体，新闻内容并
不代表本网立场！
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为了抗衡西方国家制裁，中国正千方百计自主研发国产芯片，但技术和设备方面都被西
方国家卡脖子。现在就连生产半导体的光刻胶材料，都是由国外(主要是日本)大厂所主
导。
目前全球光刻胶主要企业有日本合成橡胶（JSR）、东京应化（TOK）、住友化学、信越
化学、陶氏化学等，占市场份额超过85%。
据大陆集微网报道，由于日本年初地震影响，信越化学KrF光刻胶产线受到很大程度的
破坏，至今尚未完全恢复生产，在产线受到影响和晶圆厂扩产等多方因素下，信越化学
不得不停止向中国大陆几家晶圆厂供应KrF光刻胶。虽然东京应化（TOK）填补了信越化
学海外大部分缺失的KrF光刻胶产能，但目前仍存在不小的缺口。
报道指，全球半导体光刻胶被日本合成橡胶（JSR）、TOK、住友化学、信越化学，以及
美国陶氏化学所主导。JSR是现在全球最大的，技术是最领先的光刻胶龙头，Intel、三
星和台积电都是JSR核心客户，I-line、KrF、ArF、EUV光刻胶产品全覆盖。TOK专注于
做光刻胶及配套试剂，在G线、I线，KrF和ArF都有些市场份额。陶氏的光刻胶事业部已
经并入杜邦，客户是Intel、IBM体系，但在大陆市场占有率不是很高。信越化学主要切
入点就是从KrF和ArF开始，EUV光刻胶也在开发，在中国大陆有不少FAB厂客户。
高质国产光刻胶的自给率不足5%
今年以来，除了台积电、三星、英特尔、联电等晶圆厂积极扩产外，中芯国际、华虹宏
力、广州粤芯等多家本土晶圆厂积极扩产和产能释放，这也就导致国内光刻胶需求量远
大于本土产量，且差额逐年扩大，尤其是在高端KrF、ArF等半导体光刻胶。
然而，截至目前，国内能够批量供应KrF、ArF光刻胶的厂商却为数不多。根据SEMI数据
，日本几大厂商在g线/i线、KrF、ArF胶市场中市占率分别为61%、80%、93%，而国内g
线/i线自给率约为20%，KrF光刻胶的自给率不足5%，12寸硅片的ArF光刻胶目前尚无国
内企业可以大规模生产。
集微网引述业内人士表示，未来国内多家晶圆厂或将面临KrF光刻胶大缺货的处境，彤
程新材（603650）作为目前国内唯一一家能够供应KrF光刻胶的厂商，大陆多家晶圆厂
正在加速验证导入其子公司北京科华的KrF光刻胶。

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