g*****d
发帖数: 15 | 1 我用spin coating在Si wafer(用酸和碱做过pretreatment)上coat 事先用DI water 稀
释过的polystyrene nanospheres.试了很多条件，但表面总是一块有一块没有的，而且
即使有coat上的area，也是非常非常小。不知道是不是有什么trick在里面，还是spin
coating根本就不可能work?望有经验的大牛们指教。谢了先！！！ |
a***l
发帖数: 6 | 2 为什么要用spin coating?
spin
【在 g*****d 的大作中提到】
: 我用spin coating在Si wafer(用酸和碱做过pretreatment)上coat 事先用DI water 稀
: 释过的polystyrene nanospheres.试了很多条件，但表面总是一块有一块没有的，而且
: 即使有coat上的area，也是非常非常小。不知道是不是有什么trick在里面，还是spin
: coating根本就不可能work?望有经验的大牛们指教。谢了先！！！
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v*****m
发帖数: 66 | 3 How big is your PS?
Spin coating never worked.
Try dip coating, or simply put a drop of the suspension on the wafer, which
is titled to an angle.
Also, you should use H2SO4:H2O2 to pretreat your Si substrates.
My question is why you want to do nanosphere litho? Which school are you in?
spin
【在 g*****d 的大作中提到】
: 我用spin coating在Si wafer(用酸和碱做过pretreatment)上coat 事先用DI water 稀
: 释过的polystyrene nanospheres.试了很多条件，但表面总是一块有一块没有的，而且
: 即使有coat上的area，也是非常非常小。不知道是不是有什么trick在里面，还是spin
: coating根本就不可能work?望有经验的大牛们指教。谢了先！！！
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