E*C
发帖数: 1629 | |
f***r
发帖数: 344 | 2 get up
what do you mean 刻东西?
if mechanically, it's not hard if you are working on silicon, why...?
【在 E*C 的大作中提到】
: 跪谢
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E*C
发帖数: 1629 | 3 多谢回复。我是做生物的。问一个实验室要了一个wafer上刻的模板。但对方特别不负
责，给我们弄了一个残次品，因为担心影响实验结果，所以想在这里找人帮复制一个。 |
E*C
发帖数: 1629 | 4
【在 f***r 的大作中提到】
: get up
: what do you mean 刻东西?
: if mechanically, it's not hard if you are working on silicon, why...?
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E*C
发帖数: 1629 | 5 见上图。右侧残缺一块。不知是为什么没刻全。
【在 f***r 的大作中提到】
: get up
: what do you mean 刻东西?
: if mechanically, it's not hard if you are working on silicon, why...?
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r*****t
发帖数: 2051 | 6 你这是什么材料？硅吗？
是用来做microfluidics吗？
如果是的话应该有很成熟的技术啊
【在 E*C 的大作中提到】
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f***r
发帖数: 344 | 7 I can't see clearly
if you are depositing materials then just photolithography and deposition
again, if you are wet etching, then it's from over etching
anyway, this is not big deal, find someone close to help you, pity that I
may be not the one, I'm in Euro
【在 E*C 的大作中提到】
: 见上图。右侧残缺一块。不知是为什么没刻全。
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E*C
发帖数: 1629 | 8 是做MICROFLUIDICS的。您是同行吗？
我查到一家公司，希望他们能给我复制一个，不知道人家接不接这种小活。
【在 r*****t 的大作中提到】
: 你这是什么材料？硅吗？
: 是用来做microfluidics吗？
: 如果是的话应该有很成熟的技术啊
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E*C
发帖数: 1629 | 9 谢谢这位同学，我正在到处撒网找人呢：（
【在 f***r 的大作中提到】
: I can't see clearly
: if you are depositing materials then just photolithography and deposition
: again, if you are wet etching, then it's from over etching
: anyway, this is not big deal, find someone close to help you, pity that I
: may be not the one, I'm in Euro
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s***e
发帖数: 7166 | 10 小活贵啊。经常是一个芯片几千美元的样子。
【在 E*C 的大作中提到】
: 是做MICROFLUIDICS的。您是同行吗？
: 我查到一家公司，希望他们能给我复制一个，不知道人家接不接这种小活。
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E*C
发帖数: 1629 | 11 表吓我5555
【在 s***e 的大作中提到】
: 小活贵啊。经常是一个芯片几千美元的样子。
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s***e
发帖数: 7166 | 12 你还不如说说具体要求：材质？结构精度？纹路深度？
【在 E*C 的大作中提到】
: 表吓我5555
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I****e
发帖数: 7742 | 13 scale 多大的
精度要求多高
精度要求不高用photolithography,精度要求高用ebeam lithography
弄完之后RIE就可以了
或者找个带GIS module 的 EBL machine, 一次也就搞定了
不过这个活儿一般价格都挺贵的
【在 E*C 的大作中提到】
: 跪谢
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E*C
发帖数: 1629 | 14 说来惭愧,这个我都不知道:(
我要去那个合作的实验室问数据
【在 s***e 的大作中提到】
: 你还不如说说具体要求：材质？结构精度？纹路深度？
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E*C
发帖数: 1629 | 15 这位朋友是内行阿.
能帮我估算一个价格吗?
我找到同城的院校愿意帮忙的人,但对方并没说价钱,我都不知道该怎么谢人家?
【在 I****e 的大作中提到】
: scale 多大的
: 精度要求多高
: 精度要求不高用photolithography,精度要求高用ebeam lithography
: 弄完之后RIE就可以了
: 或者找个带GIS module 的 EBL machine, 一次也就搞定了
: 不过这个活儿一般价格都挺贵的
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t*****s
发帖数: 1240 | 16 the channels are still intact. you can use the mold without problem.
【在 E*C 的大作中提到】
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I****e
发帖数: 7742 | 17 你得给我你的最小的structure 精度和完全的尺寸
这个跟工时正比
【在 E*C 的大作中提到】
: 这位朋友是内行阿.
: 能帮我估算一个价格吗?
: 我找到同城的院校愿意帮忙的人,但对方并没说价钱,我都不知道该怎么谢人家?
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s***e
发帖数: 7166 | 18 三维结构的小东西不如用FIB。
【在 I****e 的大作中提到】
: scale 多大的
: 精度要求多高
: 精度要求不高用photolithography,精度要求高用ebeam lithography
: 弄完之后RIE就可以了
: 或者找个带GIS module 的 EBL machine, 一次也就搞定了
: 不过这个活儿一般价格都挺贵的
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c********t
发帖数: 351 | 19 感觉你是做Microscale的，所以photolithography足够了。
光刻这个东西，大量做可以很便宜，如果你只要做一片，就比较贵了。所以你找公司做
，应该1000美元以上。
如果你们学校有microlab,你需要的是找人（最好是做纳米device方向的）领你走一遍
，然后你自己做模板。将来你想要多少块有多少块。
如果你们学校没有microlab就比较麻烦。你这个东西从做模板开始要花费大量时间。除
非别人和你合作，否则肯定不愿意给你做这个东西。 |
c********t
发帖数: 351 | 20 另外你图上面的情况是光刻中常见问题，通常边缘resolution都不太好。我以前做这个
的时候都尽量把样品放在中心。 |
s***e
发帖数: 7166 | 21 专业光刻机就没这个问题了
【在 c********t 的大作中提到】
: 另外你图上面的情况是光刻中常见问题，通常边缘resolution都不太好。我以前做这个
: 的时候都尽量把样品放在中心。
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