中国科学院院士沈天慧逝世 - SJTU版

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s*****e
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中国共产党党员，中国科学院院士，分析化学、半导体化学家，上海交通大学微纳科
学技术研究院研究员沈天慧同志，因病于2011年1月2日凌晨2时55分在上海逝世，享年
88岁。沈天慧院士遗愿希望丧事从简，不举行告别仪式。
沈天慧1923年出生于浙江嘉善，1945年进入大同大学化工系就读，以优异的成绩毕
业。
新中国成立后，沈天慧进入中国科学院化学研究所工作。1954年，沈天慧被选派到
中科院沈阳金属研究所工作，参加对我国新发现的包头白云鄂博稀土铁矿的分析，在稀土
铁矿全分析方法上做出了贡献。1957年，沈天慧被派往苏联莫斯科冶金研究所进修半导
体硅和化合物半导体的研制。经过2年的学习后回国，在长春应用化学研究所建立了我国
第一个三氯氢硅法制备高纯硅小组，研制出我国第一批用该法制成的半导体高纯硅，开创
了中国人自己研制高纯硅的历史。
1966年，沈天慧调到中科院156工程处(北京)，1970年迁至陕西临潼县航天工业部
771研究所，在以后的近10年里，沈天慧一直从事硅材料器件的研制工作，开辟了磁叠片
存储器和玻璃半导体记忆材料的研究领域，为大规模集成电路的工艺研究做出了探索性和
开创性的工作。
1974年，沈天慧开始负责大规模集成电路研究。1975年，她领导的研究小组研制成
功国产高档微机存储器1024，填补了国内空白，对发展我国微电子事业发挥了重要的历
史作用。随后，她的小组相继研制成功多种大规模集成电路，屡获国家科学技术奖，以及
国防科工委、航天部等部委科技奖励。
沈天慧于1979年加入中国共产党，1980年当选为中国科学院学部委员。
1987年，沈天慧调入上海交通大学，从事磁盘基片表面化学镀NI-P层、钕铁硼材料
表面保护、硬磁盘表面润滑层及微机电系统研究。在她的主持下，1996年我国第一台直
径2mm的电磁型微马达诞生了。
在数十年的工作生涯中，沈天慧服从国家需要，三改专业，具有高度的奉献精神。她
以一生的行动，实践着自己对党、对祖国诚挚的爱。她的科学精神和人格风范是全体交大
人宝贵的精神财富，必将激励我们努力奋斗，为国家和社会做出更大贡献。
[作者]: 郑茂

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