m***m
发帖数: 324 | 1 哪里可以查到Photoresist在不同波长下的n&k?
比如G-line和I-line resist在488nm波长？ |
s********e
发帖数: 243 | 2 找比较古老的一些paper去查查吧
还有就是有些photoresist公司在卖产品的时候，data sheet上面会有这些参数
【在 m***m 的大作中提到】
: 哪里可以查到Photoresist在不同波长下的n&k?
: 比如G-line和I-line resist在488nm波长？
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s******t
发帖数: 181 | 3 see if u can find sth here
http://www.ioffe.ru/SVA/NSM/nk/index.html#Silicon
【在 m***m 的大作中提到】
: 哪里可以查到Photoresist在不同波长下的n&k?
: 比如G-line和I-line resist在488nm波长？
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c*********5
发帖数: 5813 | 4 只要知道光阻名字就可以到prolitho的database上查 |
m***m
发帖数: 324 | 5 prolitho的database有具体网址吗？google了一下没找到。 |
b*******1
发帖数: 101 | 6 用的什么牌子什么型号的PR，然后google搜manufacturer网站，一般都有
【在 m***m 的大作中提到】
: prolitho的database有具体网址吗？google了一下没找到。
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