中国科学家自主研制成功新型光刻机 - Military版 - 未名存档

本页内容为未名空间相应帖子的节选和存档，一周内的贴子最多显示50字，超过一周显示500字访问原贴

Military版 - 中国科学家自主研制成功新型光刻机

相关主题
● “超分辨光刻装备项目”通过国家验收可加工22纳米芯片	● 10纳米的光刻机国产了是假新闻
● 摩尔定律还未死，EUV光刻工艺可用到15年后的1.5nm节点	● 华人博士放弃硅谷高薪回国，研发5纳米芯片制造设备打破德美垄断
● 老将喜讯：科技日报：中科院国产22纳米光刻机治不了咱们的“芯”病	● 光刻机领域国内接近世界先进水平，9nm线宽光刻实现突破
● 科技日报：国产22纳米光刻机治不了咱们“芯”病zt	● 真的吗？中微半导体设备公司将在今年年底敲定5nm刻蚀机
● 量子通讯量子计算其实没什么	● 光刻机领域中国接近世界先进水平，9nm线宽光刻实现突破
● 菌斑琐男能否集资给男护士买套好一点的隔离服？	● 河南ASML光刻机的技术封锁
● 中国即将击败小日本精密产业的最后堡垒 ————光刻机！！！	● 长春光机所国家重大专项“极紫外光刻关键技术研究”顺利通过验收
● 10纳米的光刻机国产了!	● 还什么５nm的线宽

相关话题的讨论汇总
话题: 光刻机话题: 纳米话题: 微纳话题: 新型话题: 技术

进入Military版参与讨论

1

(共1页)

f***y 发帖数: 4447	1 http://laoyaoba.com/ss6/html/69/n-594569.html 新华社成都３月２３日电（记者李华梁）记者２３日从中科院光电技术研究所获悉，该所微电子专用设备研发团队自主研制成功紫外纳米压印光刻机。据中科院光电所微电子装备总体研究室主任胡松介绍，该所自主研发的新型光刻机，将纳米压印这一新型高分辨力光刻技术，与具有低成本、高效率特点的紫外光刻技术有机结合。记者了解到，这套设备采用新型纳米对准技术，将原光刻设备的对准精度由亚微米量级提升至纳米量级。对准是光刻设备三大核心指标之一，是实现功能化器件加工的关键。该所在国家自然基金的连续资助下，完成基于莫尔条纹的高精度对准技术自主研发，取得专利２０余项。 “该技术在光刻机中的成功应用突破了现有纳米尺度结构加工的瓶颈问题，为高精度纳米器件的加工提供了技术保障。”胡松说。据悉，该设备可广泛应用于微纳流控晶片加工、微纳光学元件、微纳光栅、ＮＭＥＭＳ器件等微纳结构器件的制备，具有广阔的应用前景，目前已完成初试和小批生产，并已在高校与企业用户中推广。（完）
f***y 发帖数: 4447	2 有请将军们解读。
w********g 发帖数: 3780	3 老将说中国都要崩了这个研发出来有个p用

1

(共1页)

进入Military版参与讨论

相关主题
● 还什么５nm的线宽	● 量子通讯量子计算其实没什么
● 河南的那家公司现在跑来中国合作已经晚了	● 菌斑琐男能否集资给男护士买套好一点的隔离服？
● 中国芯片为何卡在光刻机上日方：复杂的你们做不了	● 中国即将击败小日本精密产业的最后堡垒 ————光刻机！！！
● 中国光刻机看见曙光	● 10纳米的光刻机国产了!
● “超分辨光刻装备项目”通过国家验收可加工22纳米芯片	● 10纳米的光刻机国产了是假新闻
● 摩尔定律还未死，EUV光刻工艺可用到15年后的1.5nm节点	● 华人博士放弃硅谷高薪回国，研发5纳米芯片制造设备打破德美垄断
● 老将喜讯：科技日报：中科院国产22纳米光刻机治不了咱们的“芯”病	● 光刻机领域国内接近世界先进水平，9nm线宽光刻实现突破
● 科技日报：国产22纳米光刻机治不了咱们“芯”病zt	● 真的吗？中微半导体设备公司将在今年年底敲定5nm刻蚀机

相关话题的讨论汇总
话题: 光刻机话题: 纳米话题: 微纳话题: 新型话题: 技术

未名新帖统计// 7月16日

#	版面	帖数(主题数)
-	全站	4871 (796)
1	Military	3777 (569)
2	Stock	341 (51)
3	Joke	117 (17)
4	History	116 (3)
5	Automobile	100 (9)
6	USANews	55 (9)
7	Midlife	45 (1)
8	Headline	41 (41)
9	Dreamer	33 (13)
10	FleaMarket	32 (20)
11	Living	30 (7)

* 这里只显示发帖超过25的版面，努力灌水吧:-)